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L'evoluzione storica dei dipartimenti francesi prende le mosse dalla Rivoluzione francese, quando alla suddivisione territoriale in province fu sostituita quella basata sui dipartimenti (legge del 22 dicembre 1789). In particolare, il territorio fu suddiviso in 83 dipartimenti e i loro confini furono fissati il 26 febbraio 1790 e la loro esistenza divenne effettiva il successivo 4 marzo. All'epoca ogni dipartimento aveva una sua assemblea, costituita da 36 membri eletti, che a loro volta designavano un presidente e un direttorio esecutivo permanente. I dipartimenti erano suddivisi in distretti, cantoni e comuni (communes). Potevano esserci sino a nove distretti in ogni dipartimento e sino a nove cantoni in ogni distretto.
Questa organizzazione, proposta da Jean-Dominique Cassini, mirava a rendere uniforme la struttura organizzativa della Francia, mantenendo le amministrazioni locali, ma eliminando le specificità che provenivano essenzialmente dai privilegi dell'aristocrazia locale.
Quella che segue è una lista degli 83 dipartimenti creati all'indomani della Rivoluzione francese. Il decreto che stabiliva la divisione del territorio francese in dipartimenti fu votato dall'Assemblea Nazionale Costituente il 9 dicembre 1789; tuttavia il loro numero esatto fu fissato il 26 febbraio 1790, e la loro esistenza entrò in vigore il 4 marzo seguente. Nella colonna Note è indicata la loro evoluzione fino ad oggi.
Alla sua creazione, comprendeva l'attuale Territorio di Belfort ma escludeva la città di Mulhouse, che costituì un'enclavesvizzera fino al 28 gennaio 1798.
A partire dal 1792, durante la Prima Repubblica e poi durante l'impero di Napoleone I, quando la Francia, in guerra contro tutti gli stati europei estese progressivamente il proprio territorio, le regioni annesse furono ugualmente organizzate in dipartimenti. Questo riguardò i territori delle odierne nazioni del Belgio e dei Paesi Bassi, la riva sinistra del Reno e le coste del Mare del Nord in Germania, una parte della Svizzera, il nord e il centro Italia. All'apogeo delle conquiste francesi esistevano 130 dipartimenti e città come Bruxelles, Amsterdam, Amburgo, Ginevra, Genova, Torino e Roma furono sedi di prefetture dell'Impero napoleonico. Questi territori furono persi alla caduta di Napoleone nel 1814 (una parte della Savoia e altri territori solo nel 1815, dopo i cosiddetti Cento Giorni).
i dipartimenti della Grecia (Corfù (Corcyre), Itaca (Ithaque) e del Mar Egeo (Mer-Égée), creati nel 1797, perduti nel 1798 e 1799 e ufficialmente soppressi nel 1802);
il dipartimento della Corsica (Corse), con capoluogo Bastia fu suddiviso nel 1793 nei due nuovi dipartimenti di Golo (Bastia) e di Liamone (Ajaccio);
il dipartimento di Rodano e Loira (Rhône-et-Loire) fu suddiviso sempre nello stesso anno nei due nuovi dipartimenti del Rodano (Rhône) e della Loira (Loire);
dopo l'annessione della Contea Venassina, del Principato di Orange e della città di Avignone, creazione ancora nel 1793 del dipartimento della Vaucluse
il 17 marzo dello stesso anno il principato di Salm, assediato e i cui principi erano fuggiti in Westfalia, per sua richiesta è annesso al dipartimento dei Vosgi (Vosges);
nel 1808 è creato il nuovo dipartimento di Tarn-et-Garonne, con territori distaccati dai dipartimenti dell'Aveyron, dell'Alta Garonna (Haute-Garonne), del Gers, del Lot e del Lot e Garonna (Lot-et-Garonne).
nel 1811 i dipartimenti del Golo e del Liamone si fondono nuovamente nel dipartimento della Corsica (Corse), con capoluogo Ajaccio.
Le Province Illiriche, annesse alla Francia, furono suddivise in 10 "intendenze" anziché in dipartimenti.
Alla definitiva caduta dell'Impero (1815), la Francia è ridotta a 86 dipartimenti: agli 83 dipartimenti iniziali si erano infatti aggiunti la Vaucluse, il Lot e Garonna (Lot-et-Garonne) e la suddivisione di Rodano e Loira nei due dipartimenti di Rodano (Rhône) e della Loira (Loire).
dipartimenti di Savoia (Savoie) e Alta Savoia (Haute-Savoie);
dipartimento delle Alpi marittime (Alpes-Maritimes), costituito dalla contea di Nizza ceduta dal Piemonte e dalla circoscrizione (arrondissement) di Grasse, distaccata dal dipartimento del Var
In tal modo la Francia passa da 86 a 89 dipartimenti, senza contare quelli di Algeria
1871: dopo la perdita di Alsazia e Lorena (Alsace-Lorraine), le parti restanti dei dipartimenti della Meurthe e della Mosella (Moselle) formano il dipartimento di Meurthe e Mosella (Meurthe-et-Moselle), la parte restante dell'Alto Reno (Haut-Rhin) costituisce il Territorio di Belfort (Territoire de Belfort), mentre il Basso Reno (Bas-Rhin) era interamente perduto. Sempre senza contare i dipartimenti algerini, la Francia passa da 89 a 86 dipartimenti e 1 territorio.
1919: la Francia recupera i dipartimenti del Basso Reno (Bas-Rhin) e della Mosella (Moselle), compresa una parte di quello che era stato il dipartimento della Meurthe. I vecchi dipartimenti di Alsazia e Lorena non sono ricostituiti, La Francia passa di nuovo da 86 a 89 dipartimenti.
1922: il Territorio di Belfort (Territoire de Belfort), diviene un dipartimento a pieno titolo. A partire dal 1871 aveva avuto lo statuto di una "circoscrizione rimanente dell'Alto Reno" (arrondissement subsistant du Haut-Rhin), con alla testa un amministratore facente funzioni di prefetto e una "Commissione dipartimentale" con i poteri del Consiglio generale. La Francia passa da 89 a 90 dipartimenti.
Tra il 1955 e il 1962 questa struttura cambiò diverse volte e vi furono sino a 17 dipartimenti algerini. Dopo la revisione del 20 maggio 1956 i tre dipartimenti originari erano stati suddivisi dando origine a 12 dipartimenti: