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六氟乙烷，是一種鹵代烴（化學式：C2F6），亦是烴類化合物乙烷所對應的全氟化合物，是一種不易燃的氣體，難溶於水，微溶於醇。
| 六氟乙烷 | |||
|---|---|---|---|
| |||
| IUPAC名 Hexafluoroethane 六氟乙烷 | |||
| 系統名 六氟乙烷 | |||
| 別名 | 六氟化碳 1,1,1,2,2,2-六氟乙烷 全氟乙烷 鹵碳 116 PFC-116 CFC-116 R-116 Arcton 116 Halon 2600 UN 2193 | ||
| 識別 | |||
| CAS號 | 76-16-4 ? | ||
| PubChem | 6431 | ||
| SMILES |
| ||
| InChI |
| ||
| EINECS | 200-939-8 | ||
| ChEBI | 32905 | ||
| RTECS | KI4110000 | ||
| 性質 | |||
| 化學式 | C2F6 | ||
| 莫耳質量 | 138.01 g·mol⁻¹ | ||
| 外觀 | 無色無嗅氣體 | ||
| 密度 | 5.734 kg.m-3，24 °C | ||
| 熔點 | -100.6 °C | ||
| 沸點 | -78.2 °C | ||
| 溶解性（水） | 0.0015% | ||
| log P | 2 | ||
| 蒸氣壓 | 2.967 MPa，20.1 °C 3.0701 MPa，21 °C | ||
| 危險性 | |||
| NFPA 704 |
 0
1
0
| ||
| 閃點 | 不易燃 | ||
| 若非註明，所有數據均出自標準狀態（25 ℃，100 kPa）下。 | |||
六氟乙烷在固相時擁有兩種晶型，不同相變溫度已於科學文獻中列明，最新的文獻將相變溫度定於103 K(-170 °C)。在低於103 K的情況下，它會有一個稍微無序的結構，在相變點以上，會形成體心立方晶體結構。[1]
六氟乙烷密度表：
| 性質，溫度 | 密度 (kg.m-3) |
|---|---|
| 液態，-78.2 °C | 1608 |
| 氣態，-78.2 °C | 8.86 |
| 氣態，15 °C | 5.84 |
| 氣態，20.1 °C | 5.716 |
| 氣態，24 °C | 5.734 |
六氟乙烷可用於一種具多功能的蝕刻技術，常見於半導體之生產。它可用於金屬矽化物及金屬氧化物並相對其金屬基質的選擇性蝕刻。叧外，它亦用於蝕刻矽上的二氧化矽。
六氟乙烷是一種造成溫室效應的氣體。它非常穩定，可以長時間停留在大氣層中，是一種非常強大的溫室氣體。它在大氣中的壽命約為10,000年，全球暖化潛勢是9,200（二氧化碳的係數是1）。它在大氣層的濃度是 3 pptv（在1750年時是 0 pptv[2]）。然而，六氟乙烷在紅外線光譜下有強大的吸收勢。它的輻射驅動力是0.001 W/m²。它的臭氧破壞潛勢是0。
六氟乙烷已列入《IPCC國家溫室氣體清單》。
六氟乙烷的工業排放主要在以霍爾電解法生產鋁的過程中產生。
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