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臺灣日治時期初期理蕃政策中,計畫在各地山區的山腰處構築隘勇線以防止蕃人前往平原地區,其中在新竹廳建立名為「新竹隘勇線」的防線。新竹隘勇線上所架設的通電鐵網,其電力來源原本是位在臺北的龜山水力發電所,然而因距離過長,當電力輸送到新竹時效果已不彰[2]。故在1909年,臺灣總督府決議以「理蕃用臨時發電所」的方式在新竹內灣地區,現今內灣橋上游100公尺處河岸興建專門為隘勇線通電鐵網供電的小型水力發電廠,是為內灣水力發電所。而位在現今新竹縣竹東鎮的軟橋發電所(現為桂山發電廠軟橋機組)最初也是以理蕃之名義興建[3]。因此最初這兩座發電廠之功能僅為專門為隘勇線通電鐵網供電[3]。
1911年發電所完工後,內灣當地的臺灣原住民族泰雅族聯合周圍部落約500-600人與當時臺灣總督佐久間左馬太親自率領的2,000多人在內灣發生衝突,是為李崠山戰役。8月30日,因颱風來襲,內灣水力發電所遭到颱風破壞,隘勇線無法正常供電,日本人開始忙於修復受颱風摧毀的聯外交通以及發電所,泰雅族人便利用此機會向日本人發動攻勢,最終在10月16日泰雅族原住民仍不敵日本人攻擊。日本人修復發電所後,延長了隘勇線的設置長度,並在李崠山上建立砲台[4]。
內灣水力發電所完工啟用後,長年飽受溪水暴漲侵襲而受損。臺灣總督府為維持隘勇線之正常運作而連年維修,直到總督府認為理蕃政策成功後才將通電鐵網拆除,內灣水力發電所廢棄[2],軟橋發電所則改為供應民生用電。停止維護的內灣水力發電所因連年洪災影響,建築結構已經消失[3]。
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