草酰氟

草酰氟是草酸的氟代衍生物，为平面分子^[1]。它在刻蚀有着潜在应用，以替代有全球暖化潜势的化合物使用。^[2][3]

草酰氟
Structural formula of oxalyl fluoride Ball-and-stick model of oxalyl fluoride
IUPAC名 Oxalyl difluoride
别名	乙二酰氟
识别
CAS号	359-40-0  Y
PubChem	9668
ChemSpider	9287
SMILES	C(=O)(C(=O)F)F
InChI	1/C2F2O2/c3-1(5)2(4)6
EINECS	206-630-4
性质
化学式	C2F2O2
摩尔质量	94.017 g·mol⁻¹
熔点	-3 °C（270 K）
沸点	26.6 °C（300 K）
若非注明，所有数据均出自标准状态（25 ℃，100 kPa）下。

参见

• 草酰氯
• 草酰溴
• 对二氧杂环己烷四酮

参考文献

1. 王冬梅, 耿志远. 草酰氟分子(FCO)₂的量子化学研究[J]. 宝鸡文理学院学报(自科版), 2007, 27(1):49-53.
2. Method of etching and cleaning using fluorinated carbonyl compounds （页面存档备份，存于互联网档案馆）, US Patent 6635185.
3. Simon Karecki; Ritwik Chatterjee; Laura Pruette; Rafael Reif; Terry Sparks; Laurie Beu; Victor Vartanian & Konstantin Novoselovc. Evaluation of Oxalyl Fluoride for a Dielectric Etch Application in an Inductively Coupled Plasma Etch Tool. J. Electrochem. Soc. 2001, 148 (3): G141–G149. doi:10.1149/1.1348263.