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近場掃描光學顯微鏡 (NSOM/SNOM)是一個 顯微鏡 技術,用於結構調查,其利用漸逝波的特性打破遠場中繞射極限 。 在SNOM, 激發激光光透過一個直徑小於雷射波長的孔徑聚焦,從而在孔徑的遠端產生消逝場。[3] 當樣品在短距離地在孔徑下掃描,光學解像度只跟孔徑的直徑有關。 此時,橫向解像度可達20 納米、垂直解像度可達2-5 納米。[4][5]
如光學顯微鏡、此機制可以用於研究的不同性質,例如 折射率、化學結構和侷域壓力。也可以研究在次波長解像度下的動態特性。
NSOM/SNOM是一種掃描探針顯微鏡.
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