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Chemical vapor deposition
来自维基百科,自由的百科全书
Found in articles
乙酰丙酮铟
at American Elements "Indium‐tin oxide thin films prepared by
chemical
vapor
deposition
". [2017-11-05]. (原始内容存档于2017-11-07). "High-efficiency copper
有机金属化学气相沉积法
Metal-organic
Chemical
Vapor
Deposition
),是在基板上生长半導體薄膜的一種方法。 其他類似的名稱如:金属-有机化合物/金属有机化合物气相外延生长法(MOVPE,Metal-organic
Vapor
-Phase Epitaxy;OMVPE ,Organometallic
Vapor
-Phase
五碘化钽
Högberg, A. Hårsta. Atomic Layer
Deposition
of Ta2O5 Using the TaI5 and O2 Precursor Combination.
Chemical
Vapor
Deposition
. 2003-10-16, 9 (5): 245–248 [2020-12-10]
化学气相沉积
化學氣相沉積(英語:
chemical
vapor
deposition
,簡稱CVD)是一種用來產生純度高、性能好的固態材料的化學技術。半導體產業使用此技術來成長薄膜。典型的CVD製程是將晶圓(基底)暴露在一種或多種不同的前趨物下,在基底表面發生化學反應或/及化學分解來產生欲沉積的薄膜。反應過程中通
等离子渗氮
不锈钢材料的耐磨和耐腐蚀性能。此过程处理是通过扩散而不是涂层,应用PVD和PECVD(英语:Plasma-enhanced
chemical
vapor
deposition
)涂层混合技术,可更好的控制氮化层特性。 典型的等离子渗氮结果 (PDF). Rubig. [2021-06-22]. (原始内容存档