光罩

光罩（英語：Photomask、Mask、Reticle）係生產集成電路所需之模具，在半導體製程中，利用微影技術，在半導體上形成圖型，為將圖型複製於晶圓上，必須透過光罩作用的原理^[1]。比如沖洗相片時，利用底片將影像複製至相片上。

一片光罩的展示品

結構

• 實體結構：佈滿集成電路圖像的鉻金屬薄膜的石英玻璃片上的圖像。
• 倍縮光罩（Reticle）：在投影式光刻機中，光罩作為一個光學元件位於會聚透鏡（condenser lens）與投影透鏡（projection lens）之間，它並不和晶圓有直接接觸。光罩上的圖形縮小4~10倍（現代光刻機一般都是縮小4倍）後透射在晶圓表面。為了區別接觸式曝光中使用的光罩，投影式曝光中使用的光罩又被稱為倍縮式光罩（reticle）。
• 光罩（Mask）：當鉻膜玻璃上的圖像能覆蓋整個晶圓時稱之為光罩。

種類

相位移光罩、二元光罩

參考文獻

1. 光罩.Mask.Reticle. [2010-03-19]. （原始內容存檔於2010-10-03）.