三坐標測量儀，又稱為三次元量測儀，由英文"Coordinate Measuring Machine"而來，簡稱"CMM"。是通過探針與物體表面上的離散點測量出被量測對象的幾何形狀的裝置。CMM中有各種不同類型的探針，包括機械式，光學式，雷射式等等。根據機器，探頭位置可以由操作員手動控制，或者可以由電腦控制。CMM通常根據其在笛卡爾坐標系中的參考位置（XYZ軸）來指定探針的位置。除了沿X，Y和Z軸移動探頭之外，許多機器還允許控制探頭角度以允許測量難以到達的表面。
原理
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任何形狀都是由空間點組成的，所有的幾何量測量都可以歸結為空間點的測量，因此精確的進行空間點坐標的採集，是評定任何幾何形狀的基礎。
三次元的基本原理是將被測零件表面的點在空間三個坐標位置的數值，將這點的坐標數值經過計算機數據處理，擬合形成測量元素，如圓、球、圓柱、圓錐、曲面等，經過數學計算的方法得出其形狀、位置公差及其他幾何量數據。
在測量技術上，光柵尺及以後的容柵、磁柵、激光干涉儀的出現，革命性的把尺寸信息數碼化，不但可以進新數字顯示，而且為幾何量測量的計算機處理，進而用於控制打下基礎。[1]
用途
對物體進行三維幾何量測，多用於航空製造業、汽車製造業及精密零件製造業。
控制語法
之前為各家CMM生產廠商獨立發展，近年來在國際電腦輔助製造協會（CAM-I）的整合下，逐漸以DMIS（Dimensional Measuring Interface Standard）語法為主流。
但由於各家廠商產品需求及特色不一，因此目前呈現"以DMIS為主軸，各自發展具額外功能之獨立產品"的混亂情況。
參考資料
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