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北方华创科技集团股份有限公司(英语: NAURA Technology Group Co., Ltd.)是由北京七星华创电子股份有限公司和北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司重组而成[2],是一家总部位于中国北京的半导体设备和服务供应商。 北方华创现有四大产业制造基地,营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。[3]2023年下半,中国电子信息行业联合会发布了《2023年度电子信息企业竞争力报告及前百家企业名单》排名第69位,连续三年登电子信息竞争力百强榜单。[4]
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北方华创最早可追溯至1965年7月建立文革时期运营的北京建中机器厂,位于酒仙桥万红路的国营代号700厂,当时主生产测量仪器和真空装置、加热炉配套装置。90年代末筹划与北京另外六家装备老厂合组北京七星华创改制,七座厂联合合并此为七星之名由来,后与方微电子再次合并至为现公司成立于2001年9月,于2010年3月在深交所上市(深交所:002371),2017年2月更为现名。[5] 2016年重组完成后,构建了半导体装备、真空装备、新能源锂电装备和精密元器件四大业务板块。[6]
其中半导体装备业务是以本次重大资产重组的标的公司—北京北方华创微电子装备有限公司(原“北方微电子”)的资产及业务为基础,进一步整合了公司原有高端半导体装备业务而产生的新业务板块,形成了包括Etch、PVD、LPCVD、APCVD、PECVD、氧化炉、扩散炉、清洗机、热处理装备、液晶面板制造装备、气体品质流量控制器等系列化半导体关键制造装备及核心零部件,应用领域以集成电路制造领域为核心、辐射先进封装、半导体照明、微机电系统、功率器件、化合物半导体、平板显示、新能源光伏等诸多应用领域。[7]
2018年1月16日,北方华创科技集团股份有限公司下属北京北方华创微电子装备有限公司完成了对美国Akrion Systems LLC公司资产及相关业务的收购,本次收购将有助于拓展公司在集成电路清洗机装备领域的产销体系。[8] 公司备案文件称,北方华创美国全资子公司Naura Akrion Inc设立完毕,1,500万美元投资资金到位。[9] 同年4月完成在美国加利福尼亚州设立NAURA Research Inc.(北方华创美国硅谷研究院),开展先进半导体设备技术研发。
目前电子工艺装备成为北方华创的营收主力,2018年营收25.21亿元,同比增长了75.7%,占比达到了75%以上。在技术水准上,在集成电路领域已形成28奈米设备供货能力,14奈米工艺设备进入客户工艺验证阶段,12吋刻蚀机、PVD、ALD、单片退火系统以及LPCVD设备进入集成电路主流代工厂。[10]
北方华创四大事业群:
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