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国际装置与系统发展路线图(IRDS)在2017年曾预计3纳米制程将在2024年量产[1]。
2017年9月29日,台积电宣布未来3纳米(nm)制程晶圆厂,落脚台湾台南市的南部科学工业园区,预计最快2022年量产[2]。台积电于2020年第一季宣布3纳米制程将在2021年试产,并在2022下半年正式量产,其3纳米制程继续采用FinFET(鳍式场效晶体管)[3]。
2019年5月,三星表示其3纳米产品预计于2021年推出[4]。此后由于受到2019冠状病毒病疫情影响,三星的3纳米制程推出时程被延后到了2022年[5]。
Intel在2019年泄漏的路线图显示,其3纳米制程预计在2025年推出[6]。节点改名的Intel 3预计2024年推出。
2022年7月25日,三星宣布推出首款3纳米制程芯片,采用GAA FET(闸极全环场效晶体管)技术[7]
2023年9月15日,苹果公司发布新一代iPhone 15系列手机,其中iPhone 15 Pro以上系列搭载的A17 Pro处理器由台积电3纳米工艺代工制造,成为全球首款量产的3纳米工艺处理器芯片。
3纳米的继承者为2纳米。
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