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四乙氧基硅烷（英语：tetraethoxysilane，经常缩写为TEOS）是一种化合物，常态下为液体，其化学式为Si(OC2H5)4。四乙氧基硅烷分子可以认为是原硅酸根（SiO44−）与4个乙基相连，也即正硅酸的乙基酯（虽然原硅酸根离子在溶液中并不存在），故得名正硅酸四乙酯（tetraethyl orthosilicate，也缩写为TEOS）；其“硅酸根”部分呈正四面体结构。该分子还可以看做是硅的乙醇盐。
| 四乙氧基硅烷 | |
|---|---|
|
| |
| |
| IUPAC名 tetraethoxysilane | |
| 英文名 | Tetraethyl orthosilicate |
| 别名 | 等硅酸乙酯；硅酸四乙酯；亚硅酸乙酯；TEOS |
| 识别 | |
| CAS号 | 78-10-4 
|
| PubChem | 6517 |
| ChemSpider | 6270 |
| SMILES |
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| InChI |
|
| InChIKey | BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYAS |
| 性质 | |
| 化学式 | SiC8H20O4 |
| 摩尔质量 | 208.33 g·mol⁻¹ |
| 外观 | 无色液体 |
| 密度 | 0.933 g/mL（20°C） |
| 熔点 | −77 °C（196 K） |
| 沸点 | 166-169 °C（439-442 K） |
| 溶解性（水） | 对空气较稳定；微溶于水 |
| 危险性 | |
| 主要危害 | 易燃、吸入有害 |
| 若非注明，所有数据均出自标准状态（25 ℃，100 kPa）下。 | |
与其他“原硅酸酯”类似，四乙氧基硅烷主要通过四氯化硅的醇解制取：
其中R 为甲基、乙基、丙基等。
四乙氧基硅烷对空气较稳定，微溶于水，在纯水中缓慢水解成二氧化硅，同时产生乙醇；若添加酸或碱，则可加速其水解作用。反应如下：
直接高温加热（>600°C）四乙氧基硅烷，也可转化为二氧化硅，同时产生乙醚：
四乙氧基硅烷主要被用作硅树脂（silicone，聚硅酮）中的交联剂和半导体工业中的二氧化硅的前体，也可被用来合成沸石[1]。其他应用包括可用于制造耐化学品的涂料和耐热涂料以及生产气凝胶等。这些应用都利用了Si－OR键的反应特性[2]。
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