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净室
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净室,又称无尘室、洁净室或清净室,是指一个具有低污染水平的环境,这里所指的污染来源有灰尘,空气传播的微生物,悬浮颗粒,和化学挥发性气体。更准确地讲,一个净室具有一个受控的污染级别,污染级别可用每立方米的颗粒数,或者用最大颗粒大小来厘定的。低级别的净室通常是没有经过消毒的(如没有受控的微生物),更在意的是净室中的灰尘。
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净室的定义为:将空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除,而得到一个相当洁净的环境。亦即:这个环境中的微尘粒子相当少,称之为净室。净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业,例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、和医院内的手术室等行业等,其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内,才不会对制程产生影响。作为生产设施,净室可以占据厂房很多位置。