Вольт-фарадная характеристика
Материал из Википедии — свободной encyclopedia
Вольт-фара́дная характери́стика (англ. capacitance-voltage (CV-) characteristic, по-русски иногда озвучивается как «цэ-вэ-характеристика») — зависимость дифференциальной ёмкости образца от поданного на него опорного напряжения
, на которое накладывается малая синусоидальная добавка. Ёмкость
здесь определяется как отношение
амплитуды изменения заряда одного знака в образце
при действии синусоидального сигнала с амплитудой
и частотой
к величине
. Вариация опорного напряжения при записи кривой
предполагается медленной.
Название связано с единицами измерения напряжения и ёмкости в СИ — соответственно, вольт и фарад.
Вольт-фарадные характеристики могут быть получены — рассчитаны или измерены — для широкого класса приборов и структур. Чаще всего они изучаются применительно к полупроводниковым системам с барьерами, как то pn-переходы, барьеры Шоттки и особенно МДП-структуры (МДП = металл-диэлектрик-полупроводник). Частотный диапазон, в принципе, не ограничен (популярен диапазон от статики до 1 МГц;
), на практике вид CV-кривых сильно зависит от
, что обусловлено ограниченной быстротой реакции среды на изменение внешнего электрического поля.
Измерения вольт-фарадных характеристик дают значимые сведения о качестве материалов в структуре, наличии дефектов на границах составляющих её слоёв. Они широко распространены в полупроводниковой технологии, в первую очередь при работе со структурами, в которых почти нет сквозного переноса заряда (хотя метод применим и при наличии токов).