![cover image](https://wikiwandv2-19431.kxcdn.com/_next/image?url=https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/b/b6/Tetramethylammonium_hydroxide.svg/langno-640px-Tetramethylammonium_hydroxide.svg.png&w=640&q=50)
Tetrametylammoniumhydroksid
kjemisk forbindelse / From Wikipedia, the free encyclopedia
Tetrametylammoniumhydroksid (TMAH) er en kvartær ammoniumforbindelse med kjemisk formel (CH3)4NOH. Stoffet er mye brukt i halvlederindustrien til anisotrop etsing av silisium og som løsemiddel av organiske stoffer. Stoffet kommer i 3 varianter: vannfri, trihydrat og pentahydrat.
Kildeløs: Denne artikkelen mangler kildehenvisninger, og opplysningene i den kan dermed være vanskelige å verifisere. Kildeløst materiale kan bli fjernet. |
Quick Facts CAS-nummer, Formel ...
Tetrametylammoniumhydroksid | |||
---|---|---|---|
![]() | |||
Andre navn | |||
TMAH | |||
Identifikatorer | |||
CAS-nummer | 75-59-2 | ||
Kjemiske egenskaper | |||
Formel | (CH3)4NOH | ||
Molar masse | 91,15 g/mol | ||
Tetthet | 1015 kg/m3 | ||
Smeltepunkt | 67 - 70 °C | ||
Løselighet | Svært løselig i vann | ||
Farer | |||
Hovedfarer | Sterk base, Giftig. | ||
Relatert | |||
Andre anioner | Tetrametylammoniumklorid | ||
Andre kationer | Tetraetylammoniumhydroksid |
Close