لاک نوری
From Wikipedia, the free encyclopedia
لاک نوری (به انگلیسی: photoresist) یک ماده حساس به پرتواست که در طرحنگاری نوری، به خصوص در فناوری میکرو و میکروالکترونیک برای تولید ساختارهای میکرو یا کوچکتر، همچنین تولید مدارات چاپی، به کار میرود.با اینکه به صورت سنتی از این لاک با عنوان لاک حساس به نور یاد میشود، اما بعضی از انواع این لاکها به تابش الکترون و یاپرتوهای غیرقابل دیدن حساسند. مهمترین مواد تشکیل دهنده این لاکها بسپارهایی مانند پلی متیل متاکریلات[1] ،نوولاک [2]، اپوکسی (مثلاً در SU-8)، مواد حلال مانند سیکلوپنتانون، گاما بوتیرولاکتون و همچنین یک ماده حساس به نورند. در کنار لاکهای نوری مایع، مواد سفت و خشک حساس به نوری مانند فیلم نوری هم موجود است.