离子注入

離子注入是一種將特定離子在電場裡加速，然后嵌入到另一固體材料之中的技术手段。使用這個技术可以改變固體材料的物理化學性質，现在已经广泛应用于半導體器件製造和某些材料科學研究。離子注入可以導致核轉換，或改變某些固体材料的晶體結構。

「离子注入」的各地常用名稱
中国大陸	离子注入
臺灣	離子佈植[1]、離子植入[2]
港澳	離子注入[3]

一離子注入系統

參見

• 西澤潤一——離子佈植法的發明人

參考文獻

1. 離子佈植. 樂詞網. 國家教育研究院. [2023-12-25]. （繁體中文）
2. 離子植入法. 樂詞網. 國家教育研究院. [2023-12-25]. （繁體中文）
3. 離子注入與電鍍實驗室. 香港科技大學納米系統製造實驗所. [2023-11-19]. （原始内容存档于2020-02-19）.

外部連結

• 李佳翰. 離子植入. 科技網. 2015-05-07 [2023-12-25]. （原始内容存档于2023-12-26） （中文）.
• 第八章 離子佈植 (PDF). 國立台灣大學化學工程學系能源材料實驗室. [2023-12-25]. （原始内容 (PDF)存档于2016-05-27） （中文（臺灣））.