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乙矽烷(英語:Disilane),又稱矽乙烷,是一種有毒的化合物,分子式為Si2H6,在室溫下为气態。它的性質與乙烷很類似,都是無色易燃的氣體,但是它的矽-矽鍵比乙烷的碳-碳鍵還來的弱,因此比乙烷還不穩定。乙矽烷通常是氫很好的來源,只要經過簡單的化學反應就可以得到氫。另外它也可以用來以薄膜沉積製備純矽,是半導體工業重要的特用電子級氣體之一[3]。
乙矽烷 | |
---|---|
识别 | |
CAS号 | 1590-87-0 |
PubChem | 74123 |
ChemSpider | 66736 |
SMILES |
|
InChI |
|
InChIKey | PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYAQ |
Gmelin | 368 |
ChEBI | 30597 |
性质 | |
化学式 | Si2H6 |
摩尔质量 | 62.219 g·mol⁻¹ |
外观 | 無色可燃氣體 |
密度 | 2.66 kg/m3(15℃)[1] 0.69 g·cm−3(−25 °C)[1] |
熔点 | -132.5 °C(141 K)([1]) |
沸点 | -14.5 °C(259 K)([1]) |
溶解性(水) | 分解[1] |
蒸氣壓 | 2940.2±0.0 mmHg at 25°C[2] |
结构 | |
分子构型 | 三斜晶系 |
偶极矩 | 0 |
危险性 | |
主要危害 | 可燃,對皮膚會造成刺激 |
闪点 | 非常容易閃燃 |
相关物质 | |
相关矽烷 | SiH4 |
若非注明,所有数据均出自标准状态(25 ℃,100 kPa)下。 |
乙硅烷通常由硅化镁的水解而成。反应会产生甲硅烷、乙硅烷、甚至丙硅烷。该方法已被放弃用于生产甲硅烷,但它仍然可以用于生产乙硅烷。[4]痕量乙硅烷的存在是该方法产生的甲硅烷自燃的原因(类似地,二磷烷通常是磷化氢样品中自发自燃的污染物)。
甲硅烷和乙硅烷在 640 °C下分解,会沉积非晶硅。这个化学气相沉积过程与光伏器件的制造有关。[4]它用于生产硅晶圆。[7]
乙硅烷气体可用于控制 SiC 热分解生长石墨烯过程中,Si 蒸气的压力。 Si蒸气的压力会影响生产的石墨烯的质量。[8]
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