過程變量process variable)是指受控過程的狀態變量(state variable),像是鍋爐中的溫度即為一例,鍋爐目前的溫度是過程變量,而希望鍋爐達到的溫度即為目標值 (desired value)。

過程變量中的測量是過程控制(Process Control)中重要的一環。過程變量在變化中是過程中的動態特性(dynamic characteristics)的重要表徵。若要維持過程的精確性,就需要精確的測量當前狀態變量,並且通過不同的系統輸入(system input)控制過程變量達到目標值。像在化學工程中,常見的過程變量有溫度壓力、液面高度及流量。此名詞大量的應用於process control community 例如半導體製造領域。

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