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白光干涉顯微鏡(White light Interferenc microscope),是使用光干涉原理來展示物件的內部或表面的顯微鏡。
此條目沒有列出任何參考或來源。 (2008年12月26日) |
通過奈米垂直掃描器與干涉物鏡使解析度達到 0.1nm,因此應用於3D高精度量測
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