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光绪二十年(1894年)科顺天乡试举人,官知府、巡警部郎中、民政部右参议,辛丑(1901年)署太原府同知。次年,署太原府知府。他还曾任资政院议员。
民国成立后,任国务院统计局局长,为袁世凯大总统府秘书。1914年赵尔巽聘为清史馆总纂,撰高宗、仁宗、宣宗、文宗、穆宗五朝〈本纪〉,〈大臣年表〉、〈地理志〉,多出廷燮之手。后应张学良之邀,主讲沈阳萃升书院,充《奉天通志》馆总纂。
廷燮卒后,书稿藏北京寓中,被当成故纸卖去。著有《咸丰要录》、《明春秋草》、《万历百官表》、《晋方镇年表》、《东晋方镇年表》、《唐方镇年表》、《北宋经抚年表》、《明督抚年表》、《永乐别录》、《宣德别录》等,编纂增补版《新疆大记补编》(1935;原版《新疆大记》六卷由古建筑学家阚铎之父阚凤楼著)。