微技术y)包含了微機電感測和控制、驅動元件製程開發技術、微機電系統整合技術、射頻(RF MEMS )、光學(Optical MEMS )、生物醫學(Bio MEMS )、電腦與週邊(Computer Peripheral MEMS )微機電系統研究。 王伯雄等编著. 微纳米测量技术. 北京:清华大学出版社 ,. 2006
氮化钛Ultrathin TiN membranes as a technology platform for CMOS-integrated MEMS and BioMEMS devices (PDF). Adv. Func. Mat. 2011, 21 (9): 1652–1654. doi:10.1002/adfm
人工肾engineering and kidneys (页面存档备份,存于互联网档案馆) - umich.edu. BioMEMS & Nanotechnology -lerner.ccf.org/bme/mems / https://pharm.ucsf.edu/kidney (页面存档备份,存于互联网档案馆)
國際電子元件會議 2013年國際電子元件會議將在12月9-11日於華盛頓希爾頓酒店(英语:Washington Hilton)舉行。 特別受到關注的會議主題包含: 生物微機電系統(英语:bioMEMS ) 類比元件及電路 先進半導體器件製造 太赫茲元件 主要關注主題將會是: 電路與處理技術交互作用 能量收集 生物感測器 功率元件(英语:power
李世光1994年受邀返回臺灣,執教於臺灣大學應用力學研究所迄今,其研究專長及興趣主要在跨領域及系統整合之範疇。創立「臺大奈米生醫微機電研究群」(NTU Nano-BioMEMS group),成員囊括臺大、淡江、海洋等大學,集結醫學、化學、電機、工程及應力等相關領域的數十位教授及百位研究生。研究群共同產出之多項成果如