旋转涂覆將塗佈液供給至晶片或基材上。有兩種方法:從噴嘴噴射和滴落。 利用離心力使溶液擴散。 提高旋轉速度控制薄膜厚度。 蒸發/烘烤溶劑。 Cohen, Edward; Lightfoot, E. J., Coating Processes, Kirk-Othmer Encyclopedia of Chemical Technology
非常人贩 (电视剧)January 11, 2013 — 3,820,000 (14.1%) 2 Trojan Horsepower Brad Turner Steve Lightfoot November 29, 2012 December 6, 2012 January 4, 2013 112 3,100,000 (13