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鰭式場效電晶體
鳍式场效电晶体 / 維基百科,自由的 encyclopedia
鰭式場效電晶體[1](英語:Fin Field-Effect Transistor,簡稱:FinFET),是一種新的互補式金氧半導體電晶體,可以改善電路控制並減少漏電流,縮短電晶體的閘長。[2]FinFET是一種立體的場效應管,屬於多閘極電晶體。
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當電晶體的尺寸小於25納米以下,傳統的平面場效應管的尺寸已經無法縮小。FinFET的主要思想是將場效應管立體化。
2011年,英特爾已經推出商業化的22納米FinFET。[3]
在2018年2月開始,中國科學院微電子研究所就該技術涉及該所的部分專利對英特爾提出侵權訴訟,而英特爾多次反制,向中美兩國的知識產權管理部門申請專利無效審議或覆審,但均告失敗,2020年7月28日,國家知識產權局口頭受理了該次申請無效審議。[4]