microfabrication

共同出版) Journal of Microlithography, Microfabrication & Microsystems（英语：Journal of Microlithography, Microfabrication & Microsystems） – 回溯至 2002 年，自第 1 卷起

科分支。取而代之的是，工程科學在特定的主題上提供了更加深入的根基，像是 光學、量子物理、材料科學、應用力學、奈米科技、微米製程（英语：microfabrication）、 應用物理學 、機械工程、電機工程、生物物理學、控制理論、空氣動力學、能量、固態物理學，等等。此學科致力於綜合數學、科學、統計和工

1993. ISBN 0-06-430158-3.  pp. 23–4 Madou, Marc J. Fundamentals of Microfabrication. Taylor & Francis. 2002. ISBN 0-8493-0826-7.  Sarid, Dror. Scanning

化學工程（chemical engineering）：應用工程原理、物理學、生物學及化學，以商業規模來實現化學程序，如煉油廠、微型製造（英语：microfabrication）、發酵及生物分子製造等。 此外，也有其他的工程領域，以往的分類有包括礦業工程及海洋工程，現在的分類有會包括工業工程、材料工程、土木工程、建築工程

透射电子显微镜 扫描透射电子显微镜 Kiyohara, Shuji; Takamatsu, Hideaki; Mori, Katsumi. Microfabrication of diamond films by localized electron beam chemical vapour deposition