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1915年（民國4年），他加入陸軍第6師，進入隨營學校接受訓練。1918年（民國7年），他入保定陸軍軍官學校第8期砲兵科。1922年（民國11年）畢業。此後，馬法五成為第3混成旅旅長孫岳（屬於直系，後來成為國民軍第3軍軍長）的下屬。國民軍成立後的1925年（民國14年），他升任砲兵團團長。五原誓師後的1927年（民國16年）夏，他升任第5軍特種兵旅旅長，同年秋任國民革命軍第二集團軍第20軍第59師師長。[2][3]
北伐結束後，馬法五作為馮玉祥的手下參加了反蔣介石戰爭。1929年（民國18年）秋，他任第6軍第12師師長，中原大戰時任第5師副師長兼第13旅旅長。馮敗北後，他接受南京國民政府中央的改編，1931年（民國20年）1月任陸軍步兵第1師副師長，同年夏任第40軍第39師副師長。1935年（民國24年）4月，他被授予陸軍中將銜。[2][3]
抗日戰爭爆發後，馬法五任第39師師長，參加徐州會戰。1938年（民國27年）8月，他兼任第40軍副軍長。1939年（民國28年）11月，他轉任第106師師長。1942年（民國31年）5月，他升任第40軍軍長。1943年（民國32年）6月，他代理河北省政府主席，12月任冀察戰區副總司令兼河北省保安司令。1945年（民國34年）5月，他當選中國國民黨第6屆中央監察委員，6月任第十一戰區副司令長官兼第40軍軍長。[2][3]
抗日戰爭結束後的1945年11月1日，馬法五率部參加邯鄲戰役，同八路軍交戰遭到慘敗，自己被俘虜。1946年（民國35年）1月，政治協商會議（舊政協）在重慶召開，中國國民黨同中國共產黨商妥以新四軍軍長葉挺交換馬法五，兩人均獲得釋放。[2]獲得釋放後的同年3月，馬法五任北平行轅保定綏靖公署副主任，同年末任天津警備司令。1948年（民國37年）6月，他任河北省政府委員。1949年（民國38年）4月，他任總統府參軍。[2][3]
第二次國共內戰後，中國國民黨執政的國民政府遭遇失敗後，他隨政府轉往台灣。後任行政院顧問。[2][3]
1992年（民國81年）1月24日，他在台北市病逝。享耆壽99歲。
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