真空泵

真空泵是製造真空的一種機械，由德國人奧托·馮·居里克最早於1650年發明^[1]，它可以把一個密閉的或半密閉的空間中空氣排出或者吸收，達到局部空間的相對真空。常見的真空泵有往復式真空泵、水環泵、分子泵、旋片式真空泵、活塞式真空泵、搖擺活塞式真空泵、隔膜式真空泵、線性真空泵等種類非常多。