Silicon oxynitride

磷是一种化学元素，因其发光行为而命名，但它是通过化学发光而不是磷光发光的，所以磷不是磷光体。 Xie, Rong-Jun; Hirosaki, Naoto. Silicon-based oxynitride and nitride phosphors for white LEDs—A review. Sci. Technol. Adv

度僅有數十至數百埃（Å）不等，通常材料是二氧化硅（SiO2），不過有些新的進階製程已經可以使用如氮氧化硅（英语：Silicon oxynitride）（silicon oxynitride, SiON）做為氧化層之用。 今日半導體元件的材料通常以矽為首選，但是也有些半導體公司發展出使用其他半導體材料