130納米製程

130納米製程，又稱0.13微米製程，是半導體製造製程的一個水平，大約於2000年至2001年左右達成。^[1][2] 這一製程由當時領先的半導體公司如英特爾、德州儀器、IBM和台積電所完成。

一些CPU最初是由這個製程所製造。其中包括英特爾奔騰III Tualatin處理器。這是第一個溝道長度小於用於光刻的光的波長的製程。

使用130納米製程技術的處理器

• 摩托羅拉PowerPC 7447和7457 - 2002年
• IBM Gekko（英語：Gekko (processor)）（任天堂GameCube） - 2002年10月至2003年6月
• IBM PowerPC G5 970（英語：PowerPC G5 970） - 2002年10月至2003年6月
• 英特爾奔騰3 Tualatin和Coppermine - 2001年4月
• 英特爾賽揚 Tualatin-256 - 2001-10-02
• 英特爾奔騰M Banias - 2003-03-12
• 英特爾奔騰4 Northwood- 2002-01-07
• 英特爾賽揚 Northwood-128 - 2002-09-18
• 英特爾Xeon Prestonia和Gallatin - 2002-02-25
• VIA C3 - 2001
• AMD AMD Athlon Thoroughbred、Thorton和Barton
• AMD Athlon MP Thoroughbred - 2002-08-27
• AMD Athlon XP-M Thoroughbred、Barton和Dublin
• AMD AMD Duron Applebred - 2003-08-21
• AMD K7 AMD Sempron Thoroughbred-B、Thorton和Barton - 2004-07-28
• AMD K8 Sempron Paris - 2004-07-28
• AMD AMD Athlon 64 Clawhammer和Newcastle - 2003-09-23
• AMD Opteron Sledgehammer - 2003-06-30
• Elbrus 2000（英語：Elbrus 2000） 1891ВМ4Я (1891VM4YA) - 2008-04-27 ^[3]
• MCST-R500S（英語：MCST-R500S） 1891BM3 - 2008-07-27 ^[4]
• Vortex 86SX - ^[5]
• nVIDIA GeForce 5

參考文獻

1. Mueller, S. Microprocessors from 1971 to the Present. informIT. 2006-07-21 [2012-05-11]. （原始內容存檔於2015-04-27）.
2. Myslewski, R. Happy 40th birthday, Intel 4004!. TheRegister. 2011-11-15 [2015-04-19]. （原始內容存檔於2015-04-27）.
3. （俄文） Микропроцессор Эльбрус/МЦСТ. Mcst.ru. [2015-09-10]. （原始內容存檔於2015-06-23）.
4. （俄文） Микропроцессор МЦСТ R500S/МЦСТ. Mcst.ru. [2015-09-10]. （原始內容存檔於2015-11-01）.
5. CPU from DM&P. Dmp.com.tw. [2015-09-10]. （原始內容存檔於2015-08-23）.

先前 180納米製程

半導體器件製造製程

其後 90納米製程