微技術
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微技術(英語:Micro-technology)包含了微機電感測和控制、驅動元件製程開發技術、微機電系統整合技術、射頻(RF MEMS)、光學(Optical MEMS)、生物醫學(Bio MEMS)、電腦與週邊(Computer Peripheral MEMS)微機電系統研究[1][2]。

參考
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微技術(英語:Micro-technology)包含了微機電感測和控制、驅動元件製程開發技術、微機電系統整合技術、射頻(RF MEMS)、光學(Optical MEMS)、生物醫學(Bio MEMS)、電腦與週邊(Computer Peripheral MEMS)微機電系統研究[1][2]。
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