中國科學院上海微系統與信息技術研究所[註 1]（英語：Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences），簡稱上海微系統所，是中華人民共和國一家主要關注半導體材料和器件、集成電路、超導等領域的專業研究機構[6][7]，是中國科學院直屬正局級單位，其前身為1928年正式創立於上海的國立中央研究院工程研究所。中國科學院「率先行動」計劃將上海微系統與信息技術研究所定位為卓越創新中心[8]。
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上海微系統與信息技術研究所現有中國科學院院士2人、美國國家科學院院士1人，正高級科技人員105人[9]。
1927年11月20日，蔡元培主持召開中央研究院籌備會議[10]，會議通過了《中華民國大學院中央研究院組織條例》並決定優先籌備設立理化實業研究所等四個研究機構[11]。理化實業研究所分為物理組、化學組和工程組，主要關注基礎科學研究，但也包括實用的工程學[12]。1928年6月9日，中央研究院第一次院務會議在上海召開，蔡元培宣布中央研究院正式成立[13]。院務會議之後不到一個月，理化實業研究所籌備工作即宣告完成。事實上，理化實業研究所正式成立之時就分為物理、化學和工程三個研究所，由周仁出任工程研究所所長[14]。起初三個研究所合設於上海市霞飛路899號辦公，後又一同搬至白利南路理工實驗館。抗日戰爭期間，工程研究所遷往昆明。1945年更名為國立中央研究院工學研究所。1946年，工學研究所返回上海理工實驗館開展工作[15]，鋼鐵研究部分留在昆明成為工作站[16]。
中國共產黨取得政權後，中國科學院開始接收中央研究院工學研究所[17][18]。1950年，中央研究院工學研究所改組為中國科學院工學實驗館，是中國科學院最初的15個研究所之一。1953年，改名中國科學院冶金陶瓷研究所。1955年開始籌建長沙分所，後獨立為中國科學院礦冶研究所。1959年陶瓷部分調出成為中國科學院硅酸鹽化學與工學研究所，研究所更名為中國科學院冶金研究所，昆明工作站獨立為中國科學院昆明冶金陶瓷研究所。
1966年毛澤東發動文化大革命後，國防工業的科研、生產、建設等各方面也受到嚴重影響而趨於癱瘓[19]。聶榮臻於1967年先後向中共中央提交了《關於軍事接管和調整改組國防科研機構的請示報告》和《關於國防科研體制調整改組方案的報告》[20][21]。根據批覆，國防科委提供具體的調整和改組方案，次年1月份開始執行[22]。1968年，冶金研究所正式劃歸國防科委，改名「國防科委十六研究院第三研究所」[來源請求]。1970年，研究所復歸科學院，定名中國科學院上海冶金研究所[23][24]。
2001年，研究所改名中國科學院上海微系統與信息技術研究所[25]。
中華民國大陸時期，工學研究所主要關注冶金、陶瓷和玻璃等領域[26]。1960年代初考慮到冶金工業部已經逐步具備科研能力，研究所開始將研究方向拓展到半導體材料和集成電路等領域。研究所設有傳感技術聯合國家重點實驗室[註 2]、信息功能材料國家重點實驗室、中國科學院太赫茲固態技術重點實驗室、中國科學院無線傳感網與通信重點實驗室等研究機構。
上海微系統與信息技術研究所是中華人民共和國國務院批准的首批博士碩士學位授予單位之一，包括電子科學與技術、信息與通信工程兩個一級學科博士碩士培養點和材料物理化學二級學科博士碩士培養點[27]。
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- 周仁（1927年-1973年）
- 鄒元燨（1978年-1982年）
- 鄒世昌（1983年-1997年）
- 江綿恆（1997年-2002年）
- 封松林（2002年-2010年）
- 王曦（2010年-2019年）
- （2019年-2021年由副所長謝曉明主持工作）
- 謝曉明（2021年-）[30]
中國科學院上海微系統與信息技術研究所. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所2023年部门预算 (PDF). 中國科學院上海微系統與信息技術研究所. 2023 [2023-11-05]. （原始內容存檔 (PDF)於2023-11-05） （中文）. 我單位2023年收支總預算169595.87萬元。
中國科學院上海微系統與信息技術研究所. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所2022年部门预算 (PDF). 中國科學院上海微系統與信息技術研究所. 2022 [2023-11-05]. （原始內容存檔 (PDF)於2022-12-02） （中文）. 上海微系統所2022年收支總預算176,454.29萬元。
中國科學院上海微系統與信息技術研究所. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所2021年部门预算 (PDF). 中國科學院上海微系統與信息技術研究所. 2021 [2021-09-11]. （原始內容存檔 (PDF)於2021-09-11） （中文）. 上海微系統所2021年收支總預算124,110.52萬元。
封松林; 王渭源; 王躍林. 微系统进展与我院微系统发展战略思考 2003 (1). 中國科學院院刊. 2003 [2020-01-31]. （原始內容存檔於2021-06-09） （中文）. 現代信息系統或控制系統是由信息獲取、信息存儲、信息處理及信息執行等諸部分組成。
中國科學院物理研究所. 建所90周年 中国科学院物理研究所贺信. 2018-06-25 （中文）. 貴所在傳感技術、信息功能材料、微系統技術等眾多領域取得了一批豐碩成果並獲得了多項國家級獎勵，極大地推進了我國信息技術科學事業的發展。
中國科學院上海有機化學研究所. 建所90周年 中国科学院上海有机化学研究所贺信. 2018-06-08 （中文）. 在冶金陶瓷、金屬腐蝕與防護、半導體材料和器件、集成電路、微小衛星、信息通信等領域取得諸多重要成果，為國民經濟建設、國家安全和社會進步事業做出了卓越貢獻。
陶, 英慧. 蔡元培與中央研究院 （一九二七～一九四〇） (PDF). 中央研究院近代史研究所集刊. 1978, (7) [2020-01-05]. （原始內容存檔 (PDF)於2021-10-07） （中文）. 十月，大學院院長蔡元培根據此條，着手籌備中研院，聘請學術界人士王希同、胡剛復、王璡、王世傑、周覽（鯁生）等三十人，於十一月二十日召開中研院籌備會及各專門委員會聯合成立大會，討論該院組織大綱及籌備會進行方法。
追求卓越 中央研究院八十年 卷一 任重道远 全院篇 (PDF). 中央研究院. 2008 [2019-03-24]. ISBN 978-986014475-8. （原始內容存檔 (PDF)於2019-03-24） （中文）. 蔡元培、楊杏佛和其他籌備委員都認為科學研究應該包括以下領域：（1）數學；（2）天文學與氣象學；（3）物理學；（4）化學；（5）地質學與地理學；（6）生物科學；（7）人類學與考古學；（8）社會科學；（9）工程學；（10）農林學；（11）醫學。但是限於經費，只能擇要籌設研究機構。1927年年底，蔡元培和楊杏佛開始籌備理化實業研究所、地質調查所、社會科學研究所和觀象台四個研究機構。
追求卓越 中央研究院八十年 卷一 任重道远 全院篇 (PDF). 中央研究院. 2008 [2019-03-24]. ISBN 978-986014475-8. （原始內容存檔 (PDF)於2019-03-24） （中文）. 理化實業研究所以基礎科學研究為主，但也包括實用的工程學，籌備委員在電學領域有王季同、溫毓慶、李熙謀、張廷金等4人，化學領域有曾昭掄、趙燏黃、宋梧生、陳世璋、張乃燕、曹梁廈和吳承洛等7人，物理領域有丁燮林、顏任光和胡剛復3人，在工程學領域有周仁1人。
追求卓越 中央研究院八十年 卷一 任重道远 全院篇 (PDF). 中央研究院. 2008 [2019-03-24]. ISBN 978-986014475-8. （原始內容存檔 (PDF)於2019年3月24日） （中文）. 有了五個研究機構以後，蔡元培和楊杏佛在1928年6月9日假上海東亞酒樓召開中央研究院的第一次院務會議，出席者有天文研究所所長高魯、氣象研究所所長竺可楨、社會科學學者陶孟和、地質研究所所長李四光和研究員徐淵摩、社會科學研究所所長楊端六和研究員周鯁生、理化實業研究所所長丁燮林（又名西林，伯明罕大學碩士）和研究員王季同以及宋梧生。在這第一次院務會議上，蔡元培宣布中央研究院正式成立，並將以「Academia Sinica」為名走向全世界。
国立中央研究院概况 中华民国十七年六月至三十七年六月. 國立中央研究院. 1948 [2020-01-27]. （原始內容存檔於2019-02-02） （中文）. 本所成立於民國十七年三月。為理化實業研究所之工程組，由今所長周仁先生擔任組主任。是年七月改組，自成一所。名為「國立中央研究院工程研究所。」周先生亦即改任所長。並接續連任以訖現在。
追求卓越 中央研究院八十年 卷一 任重道远 全院篇 (PDF). 中央研究院. 2008 [2019-03-24]. ISBN 978-986014475-8. （原始內容存檔 (PDF)於2019-03-24） （中文）. 原來在南京的天文、氣象、地質、歷史語言和社會五所相繼回到故址，而原來在上海的工學所也終於回到前法租界舊地，其餘數學、物理、化學、動物、植物、心理和醫學七個研究所則暫時棲身於上海。原來朱家驊已經知道無法將這些所安置在南京，所以抗戰一告結束，他立即以教育部部長身分下令准由中央研究院接收日本人辦的「上海自然科學研究所」和「北平人文學研究所」，因此回到上海的七個所不致流離失所。
国立中央研究院概况 中华民国十七年六月至三十七年六月. 國立中央研究院. 1948 [2020-01-27]. （原始內容存檔於2019-02-02） （中文）. 留滇艱苦工作七年余，勝利欣傳，奉命復員。因交通上之困難等關係，暫將研究鋼鐵所需之全份圖書，儀器，及試驗設備，以及其他重大機件等，留置昆明，繼續進行鋼鐵及木材之研究工作。其餘部分遷回上海。
姚, 蜀平. 中国科学院的诞生. 中國科學院院刊. 1989, (4) [2020-01-30]. （原始內容存檔於2021-06-09） （中文）. 次年3月21日，中國科學院華東辦事處成立，並接收了「中研」駐滬辦事處及「兩院」留滬各研究所。
本院滬區解放以來的概况. 科學通報. 1950, 1 (3) [2020-01-30] （中文）. 一九五〇年二月，李主委任本院辦公廳副主任。三月二十一日宣布中國科學院正式接管。
聶力. 山高水长 回忆父亲聂荣臻. 上海文藝出版社. 2006. ISBN 978-753-213-120-4 （中文）. 3月11日，他向毛澤東、林彪、周恩來等中央常委、中央軍委、中央「文革」小組送上了《關於軍事接管和調整改組國防科研機構的報告》，報告中說：現在國防工業部的各研究院和中國科學院承擔國防科研任務的各研究所，大多癱瘓，研究工作停頓，三線建設問題很多。這種狀況十分不利，必須迅速改變。
中共中央文獻研究室 (編). 毛泽东年谱（一九四九－一九七六 第六卷）. 中央文獻出版社. 2013. ISBN 978-750-733-992-5 （中文）. （1967年3月20日）同日 閱周恩來三月十八日關於對國防工業部門和國防科研院、所實行軍管的報告，批示：「退總理照辦。」周恩來的報告說：對國防工業各部門的研究院、所和科學院所屬承擔國防任務的各研究所，擬同意聶榮臻同志的意見，交國防科委實行軍管。報告還說：國務院工交、財貿、農林、衛生各部門正遵照主席指示，分別進行排隊，擬在工作癱瘓部門，亦實行軍管，其辦法如對國防工業各部。
中共中央文獻研究室 (編). 毛泽东年谱（一九四九－一九七六 第六卷）. 中央文獻出版社. 2013. ISBN 978-750-733-992-5 （中文）. （1967年）10月25日 閱聶榮臻九月二十日關於國防科研體制調整改組方案的報告，批示：「聶榮臻同志：此件壓了很久，今天看過，很好，照辦。」報告提出：一、將中央批准接管的國防科研單位調整編組為若干個研究院。二、積極解決國防科研單位的試製加工力量，縮短研製周期。三、認真做好軍管工作，有步驟地進行接管和調整，條件成熟一個就接管和組建一個，爭取明年上半年基本上都組建起來。十一月九日，中共中央、國務院、中央軍委、中央文革小組轉發聶榮臻的報告。
中国科学院 走进中国科学院 院史所史 编年史 1967. [2020-01-31]. （原始內容存檔於2020-01-31） （中文）. 同年10月25日，毛澤東批示同意(因此稱為「10·25」 批示)。改組方案內容涉及新技術局及其歸口各單位要納入國防部門的有關研究院。根據「10·25」 批示，國防科委體改辦公室提出具體方案，並規定於1968年1月起開始執行。
中國科學院. 关于中国科学院上海冶金研究所更名为中国科学院上海微系统和信息技术研究所的通知. 中國科學院 （中文）.
本院所属各研究机构概况 1 (1). 科學通報. 1950 [2020-01-28] （中文）. 過去工作：偏重於冶金、陶瓷、玻璃、棉紡機等的研究。此外尚有金屬電鍍法及可塑體之製備等研究工作。
張帆; 肖宏廣. 中國科學院科學傳播局 , 編. 中国科学院年鉴（2019）. 科學出版社. 2019 [2020-01-27]. ISBN 978-703-062-574-8. （原始內容存檔於2020-01-27） （中文）. 上海微系統所是國務院學位委員會批准的首批博士、碩士學位授予單位之一，設有電子科學與技術、信息與通信工程兩個專業一級學科博士/碩士研究生培養點和材料物理化學專業二級學科博士/碩士研究生培養點，電子科學與技術、材料科學與工程兩個專業一級學科博士後流動站，微電子學與固體電子學專業被列入中國科學院重點學科，與中國科學技術大學聯合創辦「吳自良超導英才班」。
張勁夫. 请历史记住他们——关于中国科学院与“两弹一星”的回忆. 人民日報. 1999-05-06 [2020-01-02]. （原始內容存檔於2020-01-02） （中文）. 1960年，蘇聯單方面撕毀協議撤退專家。當時受影響最大的是濃縮鈾廠，關鍵材料蘇聯不給了，整個廠就停頓了。最緊迫的關鍵技術問題有三個：第一是氟油。……第二是「真空閥門」。沒有「真空閥門」，原子彈的氣體原料就不能一步一步濃縮，然後把鈾235濃縮起來。「真空閥門」的外援也斷了。科學院的上海冶金陶瓷所，當時已經分成兩個所：一個是冶金所，吳自良任副所長；一個是把陶瓷研究部分改為硅酸鹽所，嚴東生任所長。還有瀋陽金屬研究所最強的科學家李薰、師昌緒，再有張沛霖副所長。我們科學院主要依靠上海冶金所、瀋陽金屬所已經先開展研究。在上海冶金所集中力量攻這個關，搞「真空閥門」。結果這個關攻破了！攻克這個項目，除科學院金屬所、冶金所外，還有復旦大學、上海有條件的工廠等。這樣，我們的濃縮鈾廠才能生產。這時宋任窮調走了，劉傑同志當二機部部長。他一見我的面，雙手緊緊地握着我的手說：「感謝你呀！我的工廠能生產了！」這項成果在原子彈爆炸成功以後得了特等獎。所幸的是，這些我們早就開展了研究，是錢三強出的題目，出題目很重要。
