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離子注入
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離子注入是一種將特定離子在電場裡加速,然後嵌入到另一固體材料之中的技術手段。使用這個技術可以改變固體材料的物理化學性質,現在已經廣泛應用於半導體器件製造和某些材料科學研究。離子注入可以導致核轉換,或改變某些固體材料的晶體結構。
參見
- 西澤潤一——離子佈植法的發明人
參考文獻
外部連結
- 李佳翰. 離子植入. 科技網. 2015-05-07 [2023-12-25]. (原始內容存檔於2023-12-26) (中文).
- 第八章 離子佈植 (PDF). 國立台灣大學化學工程學系能源材料實驗室. [2023-12-25]. (原始內容 (PDF)存檔於2016-05-27) (中文(臺灣)).
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