化学式C6H15FSi（摩尔质量：134.27 g/mol）可以指：
- 三乙基氟硅烷，CAS号：358-43-0
- 二甲基叔丁基氟硅烷，CAS号：2357-76-8
- 三甲基(3-氟丙基)硅烷，CAS号：54655-50-4
- 二甲基正丁基氟硅烷，CAS号：351336-96-4
- 二异丙基氟硅烷，CAS号：187950-62-5
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