130纳米制程
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130纳米制程,又称0.13微米制程,是半导体制造制程的一个水平,大约于2000年至2001年左右达成。[1][2] 这一制程由当时领先的半导体公司如英特尔、德州仪器、IBM和台积电所完成。
一些CPU最初是由这个制程所制造。其中包括英特尔奔腾III Tualatin处理器。这是第一个沟道长度小于用于光刻的光的波长的制程。
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