离子注入是一种将特定离子在电场里加速,然后嵌入到另一固体材料之中的技术手段。使用这个技术可以改变固体材料的物理化学性质,现在已经广泛应用于半导体器件制造和某些材料科学研究。离子注入可以导致核转换,或改变某些固体材料的晶体结构。
参见
- 西泽润一——离子布植法的发明人
参考文献
外部链接
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