离子注入

离子注入是一种将特定离子在电场里加速，然后嵌入到另一固体材料之中的技术手段。使用这个技术可以改变固体材料的物理化学性质，现在已经广泛应用于半导体器件制造和某些材料科学研究。离子注入可以导致核转换，或改变某些固体材料的晶体结构。

“离子注入”的各地常用名称
中国大陆	离子注入
台湾	离子布植[1]、离子植入[2]
港澳	离子注入[3]

一离子注入系统

参见

• 西泽润一——离子布植法的发明人

参考文献

1. 離子佈植. 乐词网. 国家教育研究院. [2023-12-25]. （繁体中文）
2. 離子植入法. 乐词网. 国家教育研究院. [2023-12-25]. （繁体中文）
3. 離子注入與電鍍實驗室. 香港科技大学纳米系统制造实验所. [2023-11-19]. （原始内容存档于2020-02-19）.

外部链接

• 李佳翰. 離子植入. 科技网. 2015-05-07 [2023-12-25]. （原始内容存档于2023-12-26） （中文）.
• 第八章 離子佈植 (PDF). 国立台湾大学化学工程学系能源材料实验室. [2023-12-25]. （原始内容 (PDF)存档于2016-05-27） （中文（台湾））.