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(兵庫県)）、相生村、鹽屋村（日语：塩屋村 (兵庫県)）、尾崎村（日语：尾崎村 (兵庫県赤穂郡)）、新濱村（日语：新浜村 (兵庫県)）、坂越村、高雄村（日语：高雄村 (兵庫県)）、那波村、若狹野村（日语：若狭野村）、矢野村（日语：矢野村 (兵庫県)）、高田村（日语：高田村 (兵庫県)）、上郡村
兵庫縣內。 1879年實施郡區町村編制法（日语：郡区町村編制法），佐用郡正式的成為近代的行政區劃，郡役所設於佐用村（位於現在的佐用町主要市區）。 1889年04月1日：實施町村制，下設：佐用村、長谷村（日语：長谷村 (兵庫県佐用郡)）、平福村、江川村（日语：江川村 (兵庫県)）、幕山村（日语：幕山村）、西庄村（日语：西庄村
兵庫縣。 1889年日本實施町村制，設立三田町，隸屬有馬郡；1943年，西側的貴志村（日语：貴志村_(兵庫県)）被廢除，部分區域被併入三田町。1956年起，三輪町（日语：三輪町_(兵庫県)）、廣野村（日语：広野村_(兵庫県)）、小野村（日语：小野村_(兵庫県)）、高平村（日语：高平村_(兵庫県
19世紀明治維新後，先後隸屬兵庫裁判所、兵庫縣；1889年日本實施町村制，現在的轄區在當時分屬加西郡北條町（日语：北条町_(兵庫県)）、富田村（日语：富田村_(兵庫県)）、賀茂村（日语：賀茂村_(兵庫県)）、下里村（日语：下里村）、在田村（日语：在田村）、西在田村（日语：西在田村）、多加野村（日语：多加野村）、九會村（日语：九会村）、富合村（日语：富合村）。
村（日语：東栗栖村）、平井村（日语：平井村 (兵庫県)）、桑原村（日语：桑原村 (兵庫県)）、布施村（日语：布施村 (兵庫県)）、半田村（日语：半田村 (兵庫県)）、神部村（日语：神部村）、河內村（日语：河内村 (兵庫県)）、室津村（日语：室津）、御津村、揖保村（日语：揖保村）、香島村