5纳米制程半导体制造制程的一个水准。在半导体器件制造中,《国际器件和系统路线图》将5纳米工艺定义为继7纳米之后MOSFET的又一技术节点。商用5纳米制程基于具有FinFET(鳍式场效应晶体管)的多闸极晶体管(MuGFET)技术,还有已得到证明的5纳米GAAFET(环绕栅场效应晶体管)技术,但尚未商业化。2020年9月15日,由台积电制造的Apple A14 Bionic成为首个公开发表的5纳米制程芯片[1]

历史

英特尔最早在2009年的蓝图中规划于2020年推出此制程,[2]而后2019年的蓝图中更新为2023年推出[3]。但在节点改名后已无5nm规划(最接近为intel 3)。全球最大晶圆代工厂台积电(TSMC)和三星电子皆宣布5纳米制程将于2020年进入量产期,并将首先用于生产智能手机芯片[4]。2020年初,三星电子台积电已经开始5纳米制程的有限风险试产,并在2020年底开始批量生产[5][6][7]。2020第一季台积电抢先投产,首款5nm产品为苹果A14。

后续优化的制程命名为4纳米[8]。2021年11月19日,联发科发表世界首款采用台积电4nm制程的天玑9000系列芯片[9]。比较高通的8Gen1(三星代工)与8+Gen1(台积电代工)的性能及功耗,可知三星的4纳米制程输给台积电。

5纳米的后继制程计划是3纳米[10]

以5纳米制程生产的芯片

参考文献

外部链接

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