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氟甲烷
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氟甲烷,也称为甲基氟、氟利昂41、HFC-41,其化学式为CH3F,在常温常压下是无毒、可液化的可燃气体,是甲烷的一氟取代物。氟甲烷用在半导体及电子产品的制程中,在射频场下氟甲烷会溶解氟离子,可选择性的蚀刻硅化合物的薄膜,即反应离子刻蚀。
Quick Facts 氟甲烷, 识别 ...
氟甲烷 | |||
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IUPAC名 Fluoromethane | |||
别名 | 甲基氟、氟利昂41、HFC-41、R-41 | ||
识别 | |||
缩写 | R41 | ||
CAS号 | 593-53-3 ![]() 558-21-4(2H3) ![]() 20666-44-8(13C) ![]() | ||
PubChem | 11638(2H3) 450707(11C) 12336970(13C) 9833918(17F) 450725(18F) 11638 | ||
ChemSpider | 11148 (2H3), 396977 (11C), 21170290 (13C), 8009639 (17F), 396995 (18F), 11148 | ||
SMILES |
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InChI |
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InChIKey | NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYAF | ||
Beilstein | 1730725 | ||
Gmelin | 391 | ||
UN编号 | UN 2454 | ||
EINECS | 209-796-6 | ||
ChEBI | 28826 | ||
KEGG | C11147 | ||
MeSH | Fluoromethane | ||
性质 | |||
化学式 | CH3F | ||
摩尔质量 | 34.03 g·mol⁻¹ | ||
外观 | 无色无味气体 | ||
密度 | 0.5786 kg/m3(20°C) 0.557 g/cm3(25°C气体,饱和蒸气压) | ||
熔点 | -141.8 °C(131.4 K) | ||
沸点 | -78.2 °C(195.0 K) | ||
溶解性(水) | 1.66 l/kg (2.295 g/l) | ||
蒸气压 | 3.3 MPa at 20 °C | ||
结构 | |||
分子构型 | 四面体 | ||
危险性 | |||
欧盟危险性符号 | |||
警示术语 | R:R12 | ||
安全术语 | S:S9, S16, S23, S24/25, S26, S28, S33, S36/37/39, S60 | ||
NFPA 704 | |||
相关物质 | |||
相关化学品 | 氯甲烷、溴甲烷、碘甲烷、二氟甲烷、三氟甲烷、四氟化碳 | ||
若非注明,所有数据均出自标准状态(25 ℃,100 kPa)下。 |
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