Loading AI tools
З Вікіпедії, вільної енциклопедії
Фотолітогра́фія — метод отримання трафарету на тонкій плівці матеріалу, який широко використовують у мікроелектроніці і в поліграфії. Один з основних процесів планарної технології при виробництві напівпровідникових приладів.
Для отримання відбитка використовують світло певної довжини хвилі. Мінімальний розмір деталей малюнку — половина довжини хвилі (обмежується дифракцією світла).
Принципова відмінність фотолітографії від інших видів літографії полягає у тому, що експонування проводиться видимим або ультрафіолетовим випромінюванням, тоді як в інших видах літографії для цього використовується рентгенівське випромінювання, потік електронів, потік іонів, жорсткий ультрафіолет тощо.
Фоторезист — спеціальний матеріал, який при освітленні змінює свої фізико-хімічні властивості, перш за все, розчинність.
Фотошаблон — пластина, прозора для електромагнітного випромінювання, яке використовується в цьому процесі, з непрозорим малюнком.
Основні етапи процесу фотолітографії:
Якщо після експонування стають розчинними незасвічені ділянки фоторезисту, то процес фотолітографії називається негативним.
За джерелом випромінювання (вказана довжина хвилі):
Технології, які дозволяють покращити техпроцес:
Використовують для виготовлення малюнків з матеріалів, які погано травляться або травники дуже токсичні.
Ця стаття не містить посилань на джерела. (листопад 2014) |
Seamless Wikipedia browsing. On steroids.
Every time you click a link to Wikipedia, Wiktionary or Wikiquote in your browser's search results, it will show the modern Wikiwand interface.
Wikiwand extension is a five stars, simple, with minimum permission required to keep your browsing private, safe and transparent.