![cover image](https://wikiwandv2-19431.kxcdn.com/_next/image?url=https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/6/69/%25D0%25A1%25D0%25BA%25D0%25B0%25D0%25BD%25D0%25B8%25D1%2580%25D1%2583%25D1%258E%25D1%2589%25D0%25B8%25D0%25B9_%25D0%25B7%25D0%25BE%25D0%25BD%25D0%25B4%25D0%25BE%25D0%25B2%25D1%258B%25D0%25B9_%25D0%25BC%25D0%25B8%25D0%25BA%25D1%2580%25D0%25BE%25D1%2581%25D0%25BA%25D0%25BE%25D0%25BF_%25D0%25B8_%25D1%2588%25D0%25B5%25D1%2580%25D0%25BE%25D1%2585%25D0%25BE%25D0%25B2%25D0%25B0%25D1%2582%25D0%25BE%25D1%2581%25D1%2582%25D1%258C_%25D0%25BA%25D0%25B2%25D0%25B0%25D1%2580%25D1%2586%25D0%25B5%25D0%25B2%25D0%25BE%25D0%25B9_%25D0%25BF%25D0%25BB%25D0%25B0%25D1%2581%25D1%2582%25D0%25B8%25D0%25BD%25D1%258B.jpg/640px-%25D0%25A1%25D0%25BA%25D0%25B0%25D0%25BD%25D0%25B8%25D1%2580%25D1%2583%25D1%258E%25D1%2589%25D0%25B8%25D0%25B9_%25D0%25B7%25D0%25BE%25D0%25BD%25D0%25B4%25D0%25BE%25D0%25B2%25D1%258B%25D0%25B9_%25D0%25BC%25D0%25B8%25D0%25BA%25D1%2580%25D0%25BE%25D1%2581%25D0%25BA%25D0%25BE%25D0%25BF_%25D0%25B8_%25D1%2588%25D0%25B5%25D1%2580%25D0%25BE%25D1%2585%25D0%25BE%25D0%25B2%25D0%25B0%25D1%2582%25D0%25BE%25D1%2581%25D1%2582%25D1%258C_%25D0%25BA%25D0%25B2%25D0%25B0%25D1%2580%25D1%2586%25D0%25B5%25D0%25B2%25D0%25BE%25D0%25B9_%25D0%25BF%25D0%25BB%25D0%25B0%25D1%2581%25D1%2582%25D0%25B8%25D0%25BD%25D1%258B.jpg&w=640&q=50)
Сканирующий зондовый микроскоп
Материал из Википедии — свободной encyclopedia
Сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ, англ. SPM — scanning probe microscope) — класс микроскопов для получения изображения поверхности и её локальных характеристик. Процесс построения изображения основан на сканировании поверхности зондом. В общем случае позволяет получить трёхмерное изображение поверхности (топографию) с высоким разрешением. Сканирующий зондовый микроскоп в современном виде изобретен (принципы этого класса приборов были заложены ранее другими исследователями) Гердом Карлом Биннигом и Генрихом Рорером в 1981 году. За это изобретение были удостоены Нобелевской премии по физике в 1986 году, которая была разделена между ними и изобретателем просвечивающего электронного микроскопа Э. Руска. Отличительной особенностью СЗМ является наличие:
- зонда,
- системы перемещения зонда относительно образца по 2-м (X-Y) или 3-м (X-Y-Z) координатам,
- регистрирующей системы.
![Thumb image](http://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/6/69/%D0%A1%D0%BA%D0%B0%D0%BD%D0%B8%D1%80%D1%83%D1%8E%D1%89%D0%B8%D0%B9_%D0%B7%D0%BE%D0%BD%D0%B4%D0%BE%D0%B2%D1%8B%D0%B9_%D0%BC%D0%B8%D0%BA%D1%80%D0%BE%D1%81%D0%BA%D0%BE%D0%BF_%D0%B8_%D1%88%D0%B5%D1%80%D0%BE%D1%85%D0%BE%D0%B2%D0%B0%D1%82%D0%BE%D1%81%D1%82%D1%8C_%D0%BA%D0%B2%D0%B0%D1%80%D1%86%D0%B5%D0%B2%D0%BE%D0%B9_%D0%BF%D0%BB%D0%B0%D1%81%D1%82%D0%B8%D0%BD%D1%8B.jpg/640px-%D0%A1%D0%BA%D0%B0%D0%BD%D0%B8%D1%80%D1%83%D1%8E%D1%89%D0%B8%D0%B9_%D0%B7%D0%BE%D0%BD%D0%B4%D0%BE%D0%B2%D1%8B%D0%B9_%D0%BC%D0%B8%D0%BA%D1%80%D0%BE%D1%81%D0%BA%D0%BE%D0%BF_%D0%B8_%D1%88%D0%B5%D1%80%D0%BE%D1%85%D0%BE%D0%B2%D0%B0%D1%82%D0%BE%D1%81%D1%82%D1%8C_%D0%BA%D0%B2%D0%B0%D1%80%D1%86%D0%B5%D0%B2%D0%BE%D0%B9_%D0%BF%D0%BB%D0%B0%D1%81%D1%82%D0%B8%D0%BD%D1%8B.jpg)
Регистрирующая система фиксирует значение функции, зависящей от расстояния зонд-образца. Обычно регистрируемое значение обрабатывается системой отрицательной обратной связи, которая управляет положением образца или зонда по одной из координат (Z). В качестве системы обратной связи чаще всего используется ПИД-регулятор.
Основные типы сканирующих зондовых микроскопов: