Mikroelektromekaniske systemer (MEMS), på norsk også mikrosystemteknologi, er mikroskopiske systemer som har både elektriske og mekaniske funksjoner. MEMS kan betraktes som en utvidelse av mikroelektronikk, som i dag finnes i nærmest alle elektriske apparater.

En midd avbildet sammen med mikrotannhjul. Bildereferanse: Sandia National Laboratories, www.mems.sandia.gov

I mikroelektromagnetiske systemer kombineres mikroelektroniske elementer med mikroskopiske mekaniske elementer som tynne bjelker (eng. cantilevers), mikroskopiske tannhjul, kanyler med mer. MEMS kan også inneholde mikroskopiske kanaler til håndtering av væsker, som f.eks. blod eller kjemikalier.

Norske bedrifter/forskningsinstitutter som arbeider med MEMS

Wikiwand in your browser!

Seamless Wikipedia browsing. On steroids.

Every time you click a link to Wikipedia, Wiktionary or Wikiquote in your browser's search results, it will show the modern Wikiwand interface.

Wikiwand extension is a five stars, simple, with minimum permission required to keep your browsing private, safe and transparent.