From Wikipedia, the free encyclopedia
Айыру қабілеттілігі (оптикалық құралдың) (Разрешающая способность). 1. Екі жарық нүктені (оптикалық құралдың) бір-бірінен анық айыратын ең жақын арақашықтық "айыру қашықтығы", ал оған кері шама (оптикалық құралдың) айыру қабілеттілігі делінеді. Айыру қабілеттілігі жаңғыртылған бейненің 1 см-ге келетін ақ және қара түсті қос сызықтар санымен бағаланады. Радиолокациялық радиостанцияның қашықтық бойынша айыру қабілеттілігі екі объектінің шағылған толқын арқылы бір-бірінен ажыратылатын ең аз қашықтығы: D= 150 tим .М tим— импульстің ұзақтығы.
2. Микросхемаларды жасау технологиясының фотолитография процесінде айыру қабілеттілігі деп ұзындығы 1 мм фоторезист жасауға мүмкіндік беретін штрих еніне тең саңылауы бар, параллель орналасқан, анық ажыратылатын, ені бірдей сызықтар (штрихтар), яғни R= 1000/(21), мұндағы 1- штрих пен саңылау ені, мкм-мен беріледі. Фолитографияда қолданылатын фоторезисттердің (қ. фоторезист) қабатты айыру қабілеттілігі 1000—2000 сызық/мм.[1]
Seamless Wikipedia browsing. On steroids.
Every time you click a link to Wikipedia, Wiktionary or Wikiquote in your browser's search results, it will show the modern Wikiwand interface.
Wikiwand extension is a five stars, simple, with minimum permission required to keep your browsing private, safe and transparent.