フッ化タングステン(VI)
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六フッ化タングステンもしくはフッ化タングステン(VI)はWF6の組成式で表されるフッ素とタングステンからなる無機化合物である。腐食性を有する気体または液体である。25°C100kPaにおいて気体である既知の物質の中で最も重い物質の一つであり[1]、その密度はおよそ13 g/Lと空気の約11倍重い[2][3][4]。WF6は集積回路やプリント基板の製造において低抵抗の金属配線層を形成するのに利用される。これは化学気相蒸着法を用いて基板上でWF6を分解させることによって金属タングステンを堆積させるものである[5]。
概要 識別情報, 特性 ...
フッ化タングステン(VI) | |
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六フッ化タングステン | |
識別情報 | |
CAS登録番号 | 7783-82-6 ![]() |
PubChem | 522684 |
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特性 | |
化学式 | WF6 |
モル質量 | 297.830 g/mol |
外観 | 無色気体 |
密度 | 12.4 g/L、気体 4.56 g/cm3 (-9 °C、固体) |
融点 |
2.3 °C, 275 K, 36 °F |
沸点 |
17.1 °C, 290 K, 63 °F |
水への溶解度 | 加水分解 |
構造 | |
分子の形 | 正八面体 |
双極子モーメント | 0 |
危険性 | |
EU Index | 不記載 |
引火点 | 不燃性 |
関連する物質 | |
その他の陰イオン | 塩化タングステン(VI) 臭化タングステン(VI) |
その他の陽イオン | フッ化クロム(IV) フッ化モリブデン(IV) |
関連物質 | フッ化タングステン(IV) フッ化タングステン(V) |
特記なき場合、データは常温 (25 °C)・常圧 (100 kPa) におけるものである。 |
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