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ラザフォード後方散乱分光(ラザフォードこうほうさんらんぶんこう、英語: Rutherford backscattering spectrometry、RBS)とは、物質に高速のイオンを照射し、後方散乱したイオンのエネルギーと個数を測定することで元素分析をする表面分析手法。
物質に高速イオンが入射すると、大半は電子との非弾性散乱によりエネルギーを失うが、ごく一部では原子核どうしのクーロン反発(ラザフォード散乱)による弾性散乱が起こる。このとき多重散乱はほとんど起こらず、散乱確率はラザフォードの散乱公式で表される。
イオン源から放出されたヘリウムイオン(アルファ線)は、イオン加速器でエネルギーやイオン電流量が調節される。その後イオンビームをコリメーターによって平行にする。 検出器には半導体検出器が用いられる。
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