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Nanoimprint lithography
ウィキペディアから
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ニル
GazettEのアルバム。 NIL (プログラミング言語) NiL (アイドル) - 日本の女性アイドルグループ。 ナノインプリント・リソグラフィ (
Nanoimprint
Lithography
) [脚注の使い方] ^ “NIRU - YouTube”. www.youtube.com. 2023年12月18日閲覧。
SU-8
として開発された。現在では、主に、マイクロ流体デバイス(主にソフトリソグラフィ(Soft
Lithography
)が用いられるが、ナノインプリント・リソグラフィ(
Nanoimprint
Lithography
)のような他のインプリント技術も使われる)や、MEMSの構成要素の製造に使用されている。ま
微細加工技術
→詳細は「en:
Nanoimprint
lithography
」を参照
ナノインプリント・リソグラフィ
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Nanoimprint
_
lithography
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