酢酸2-メトキシ-1-メチルエチル

酢酸2-メトキシ-1-メチルエチル
	IUPAC名 1-Methoxy-2-propanyl acetate
	別称 PGMEA; 1-Methoxy-2-propanol acetate
識別情報
CAS登録番号	108-65-6
PubChem	7946
ChemSpider	7658
UNII	PA7O2U6S2Q
	SMILES CC(COC)OC(=O)C;
	InChI InChI=1S/C6H12O3/c1-5(4-8-3)9-6(2)7/h5H,4H2,1-3H3 Key: LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N; InChI=1/C6H12O3/c1-5(4-8-3)9-6(2)7/h5H,4H2,1-3H3 Key: LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYAD;
特性
化学式	C6H12O3
モル質量	132.16 g mol−1
危険性
Hフレーズ	H226, H360, H402
NFPA 704	2 1 0
引火点	43 °C (109 °F; 316 K)
発火点	333 °C (631 °F; 606 K)
	特記なき場合、データは常温 (25 °C)・常圧 (100 kPa) におけるものである。

酢酸2-メトキシ-1-メチルエチル(Propylene glycol methyl ether acetate, PGMEA)は、インク、コーティング、クリーナー等に用いられるP型のグリコールエーテルである。ダウ・ケミカルからDowanol PMA^[2]、シェル・ケミカルからmethyl proxitol acetateの名前で^[3]^[4]販売されている。

概要識別情報, 特性 ...

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半導体業界では、ウェハーのビス(トリメチルシリル)アミンのような表面接着剤の用途で、溶剤としてよく用いられている^[5]。また、揮発しやすいため、半導体のクリーンルーム等では大気経由でコンタミネーションしやすい分子である^[6]。

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酢酸2-メトキシ-1-メチルエチル

出典

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