電子光学

電子光学（でんしこうがく、英語: Electron optics）は、幾何光学を電子線に適用した分野で電子線を静電場や磁場で制御して収束するために使用される。

物理学
ウィキポータル 物理学 執筆依頼・加筆依頼
物理学
ウィキプロジェクト 物理学
カテゴリ 物理学

概要

電子の加速電圧が高ければ電子線の波長が短くなる。ザイデルの5収差に相当する収差が電子光学にもある。 電子レンズを使用して収束する。光学レンズとは異なり、電子に対するレンズは凸レンズしかないことが知られており^[1][2]、収差の補正に利用する場合には選択肢が限られる^[3]。

応用分野

• 電子顕微鏡
• 陰極線管
• 電子線描画装置
• EPMA
• 撮像管

脚注

1. Scherzerの前提
2. Scherzer, O_. "Über einige fehler von elektronenlinsen." Zeitschrift für Physik 101.9-10 (1936): 593-603.
3. EOS津野の電子光学講座にようこそ。

参考文献

• 電子光学. "電子光学, 1979." 真空 35.5 (1992): 512-519.
• 裏克己. "電子光学." 共 立 出 版 (1979).
• 裏克己. "電子・イオンビーム光学." (1994).
• 裏克己. ナノ電子光学. 共立出版, 2006.

関連項目

• 電子レンズ

外部リンク

• 大阪大学 超高圧電子顕微鏡センター 電子光学基礎研究共同研究部門