エレクトロマイグレーションウィキペディア フリーな encyclopedia エレクトロマイグレーション(英: electromigration)とは、電気伝導体の中で移動する電子と金属原子の間で運動量の交換が行われるために、イオンが徐々に移動することにより材の形状に欠損が生じる現象である。その効果は電流密度が高い場合に大きくなる。集積回路が微細化するにつれて、その影響が無視できなくなりつつある。 同種の用語にエレクトロケミカルマイグレーション(イオンマイグレーション)があるが、こちらは電気化学的マイグレーションという点で本項と異なる。 銅配線に発生したエレクトロマイグレーションによる故障箇所の走査型電子顕微鏡画像。RIEとHFによって不動態化された保護膜が除去されている。
エレクトロマイグレーション(英: electromigration)とは、電気伝導体の中で移動する電子と金属原子の間で運動量の交換が行われるために、イオンが徐々に移動することにより材の形状に欠損が生じる現象である。その効果は電流密度が高い場合に大きくなる。集積回路が微細化するにつれて、その影響が無視できなくなりつつある。 同種の用語にエレクトロケミカルマイグレーション(イオンマイグレーション)があるが、こちらは電気化学的マイグレーションという点で本項と異なる。 銅配線に発生したエレクトロマイグレーションによる故障箇所の走査型電子顕微鏡画像。RIEとHFによって不動態化された保護膜が除去されている。