Polverizzazione catodica
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La polverizzazione catodica, spruzzamento catodico o vaporizzazione catodica[1] (in inglese sputtering, "spruzzamento") è un processo per il quale si ha emissione di atomi, ioni o frammenti molecolari da un materiale solido detto bersaglio (target) bombardato con un fascio di particelle energetiche (generalmente ioni).