סילן מתפרק לצורן ולמימן ולכן משתמשים בו לייצור צורן נקי בשיטת (ChemicalVaporDeposition (CVD. בתעשייה מפיקים סילן מצורן בתהליך דו שלבי. בשלב הראשון מגיבים
דיווחו על גרסה פשוטה יותר של התהליך אשר לא דרש תהליכי השקעה (CVD- chemicalvapordeposition) ליצירת שכבות. תהליך זה גם עסק באיכול יבש כשלב עיבוד סופי, שהקל