Pompe à diffusion
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Une pompe à diffusion, ou pompe à jets de vapeur, est une pompe à vide. Il s’agit en particulier d’une pompe de transfert cinétique à fluide moteur.
Le rôle d’une pompe à diffusion est d’évacuer les molécules de gaz d’une enceinte afin de créer le vide et diminuer la pression de cette enceinte. Pour ce faire, une certaine quantité de mouvement va être communiquée aux molécules présentes dans l’enceinte. Cette quantité de mouvement est fourni par l’intermédiaire d’un fluide moteur. Ce fluide moteur est généralement une huile de silicone sous forme de vapeur[1].
Les gammes de pression mises en œuvre par les pompes à diffusion sont situées entre 10-3 (vide poussé) et 10-9 (ultravide)[2].